（12）发明专利说明书
（21）申请号 CN200710202130.3 （22）申请日 2007.10.18
（71）申请人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
地址 518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
（10）申请公布号 CN101413789B
（43）申请公布日 2010.09.29
（72）发明人 黄海若 （74）专利代理机构
代理人
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
表面轮廓检测装置及其检测方法
（57）摘要
一种表面轮廓检测装置，其包括一个
用于提供一平行光的光源组件，一个设置于光源组件的出射光的光路上的空间光调制器，一个设置于空间光调制器的出射光的光路上的分光镜，一个设置于分光镜的出射光的光路上的波前传感器以及一个与所述波前传感器及空间光调制器电气连接的控制处理器，其用于控制所述空间光调制器启闭每一个像素的出射光以及处理所述波前传感器输出的波前斜率值以取得所测试的待测物的表面轮廓。上述的表面轮廓检测装置在空间光
调制器、分光镜以及波前传感器的配合作用下，能够不与待测物接触而取得待测物的表面轮廓，避免了对待测物表面造成损伤。本发明还涉及上述表面轮廓检测装置的检测方法。 法律状态
法律状态公告日2009-04-22 2009-06-17 2010-09-29 2012-12-19
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权 专利权的终止
法律状态
公开
实质审查的生效 授权 专利权的终止
权利要求说明书
表面轮廓检测装置及其检测方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
表面轮廓检测装置及其检测方法的说明书内容是....请下载后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容