专利名称：一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置专利类型：实用新型专利
发明人：周磊峰,徐建,马陈飞,龙安泽,王亮亮申请号：CN201721584016.7申请日：20171123公开号：CN207672154U公开日：20180731
摘要：本实用新型公开了蓝宝石晶体生长技术领域的一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，包括集尘室、第一旋片泵、第二旋片泵和扩散泵，本实用新型通过设置集尘室，气流通过导流板与旋转叶接触，旋转叶转动与空气摩擦产生静电，通过静电吸附以及滤网收集原料粉末，减少进入第一旋片泵和第二旋片泵中的粉尘；设置有第一旋片泵和第二旋片泵，并通过三通阀切换，防止使用过程中第一旋片泵或是第二旋片泵出现故障导致整个装置无法使用；各管路连接处均设有连接器，取出定位销，旋转第二连接环，使连接杆移动，即可拆开管路之间的连接，简单方便；本实用新型有效减少粉尘造成的影响，安装连接以及更换维修方便，操作简单，实用性强。
申请人：张新峰
地址：226543 江苏省南通市如皋市下原镇兴原路58号
国籍：CN
代理机构：北京快易权知识产权代理有限公司
代理人：杜亚静
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