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一种高纯度四氯化硅提纯方法[发明专利]

来源:易榕旅网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种高纯度四氯化硅提纯方法专利类型:发明专利

发明人:殷万朋,许超,其他发明人请求不公开姓名申请号:CN201410011907.8申请日:20140112公开号:CN103738966A公开日:20140423

摘要:本发明涉及一种光纤、光伏、半导体及其他科研领域用的高纯度四氯化硅的提纯技术,具体步骤如下:步骤1、以工业级四氯化硅为原料进料,经第一个精馏塔加压精馏,塔顶采出的低沸物进入低沸物储罐;步骤2、将步骤1得到的塔釜采出物经第二个精馏塔加压精馏,塔釜采出的高沸物,进入高沸物储罐;步骤3、将步骤2得到的塔顶采出物经第三个精馏塔加压精馏,塔釜采出物,回到第二个精馏塔,循环提纯;步骤4、将步骤3得到的塔顶采出物经第四个精馏塔加压精馏,塔顶采出物进入高沸物储罐;步骤5、将步骤4得到的塔釜采出物经第五个精馏塔加压精馏,塔釜采出物进入高沸物储罐,塔顶采出物即为质量浓度大于99.9999%的高纯度四氯化硅产品。

申请人:北京国辰华星科技有限责任公司

地址:100070 北京市丰台区科学城航丰路8号1幢421室

国籍:CN

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