专利名称：一种大口径光学元件激光预处理的装置专利类型：实用新型专利发明人：吴周令,陈坚,吴令奇申请号：CN201220482823.9申请日：20120921公开号：CN202780231U公开日：20130313
摘要：本实用新型公开了一种大口径光学元件激光预处理的装置，通过将激光光束照射到被处理样品表面上的处理点1进行辐照预处理，由处理点1反射出来的激光光束经激光能量回收反射镜后再次照射到被处理样品表面上的处理点2；如此类推，激光光束经激光能量回收反射镜后多次与被处理样品表面相互作用，在被处理样品表面上的处理点1到处理点N均进行辐照预处理。本实用新型利用光能量回收反射镜对激光能量进行回收重复利用，实现样品表面多点并行处理，从而大幅度提高大口径光学元件激光预处理速度。本装置可以用于光学薄膜缺陷修复、激光反射元件表面清洁、光学高反射率薄膜激光预处理等多个领域，特别适用于对大口径光学元件的快速预处理以提高其抗激光破坏能力。
申请人：合肥知常光电科技有限公司
地址：230031 安徽省合肥市高新区望江西路800号创新园C4楼二层
国籍：CN
代理机构：合肥天明专利事务所
代理人：金凯
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