一种多晶硅生产工艺中产生的还原尾气的干法回收系统和方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201210285785.2 （22）申请日 2012.08.10

（71）申请人 中国恩菲工程技术有限公司

地址 100038 北京市海淀区复兴路12号

（10）申请公布号 CN102815670A

（43）申请公布日 2012.12.12

（72）发明人 万烨;严大洲;毋克力;肖荣晖;汤传斌

（74）专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人 宋合成

（51）Int.CI

C01B3/52; C01B3/56;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种多晶硅生产工艺中产生的还原尾气的干法回收系统和方法

（57）摘要

本发明公开了一种多晶硅生产工艺中产生

的还原尾气的干法回收系统和方法，所述系统包括：淋洗塔；吸收系统，所述吸收系统用于对淋洗后的还原尾气进行吸收处理，以除去其中的氯硅烷以及氯化氢，得到氢气；吸附装置，所述吸附装置内设有用于对氢气进行吸附处理的吸附剂，以进一步吸附掉氢气中所残存的氯硅烷和氯

化氢；和第一过滤装置，所述第一过滤装置用于对经过吸附处理的氢气进行过滤，以得到高纯氢气，其中，所述第一过滤装置内设有陶瓷滤芯。根据本发明的干法回收系统，由于采用设置有陶瓷滤芯的气体过滤装置，该过滤装置具有耐高温，耐腐蚀的优良特性，不会对多晶硅产品质量造成影响。

法律状态

法律状态公告日2012-12-12 2013-01-30 2014-06-18

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权

法律状态

公开

实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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