专利名称：硅片检测仪专利类型：外观专利发明人：傅晓云
申请号：CN200830176805.7申请日：20080821公开号：CN301003536D公开日：20090909
专利附图：
申请人：浙江工业大学
地址：310012 浙江省杭州市下城区朝晖六区浙江工业大学
国籍：CN
代理机构：杭州天正专利事务所有限公司
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