专利名称：高稳定性转镜干涉仪专利类型：发明专利
发明人：相里斌,张文喜,谭政,方煜,周志盛,吕群波申请号：CN201410284090.1申请日：20140623公开号：CN104155003A公开日：20141119
摘要：本发明公开了一种高稳定性转镜干涉仪，包括第一分束器、第二分束器、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第三平面反射镜、倾斜反射镜以及能量收集镜：第一平面反射镜与第二分束器的分束膜平行设置并固定连接；第二平面反射镜与第三平面反射镜平行设置构成平行反射镜组，平行反射镜组固定连接转轴；平行反射镜组与第二分束器固定连接；倾斜反射镜具有倾角，平行反射镜组的出射光和第一平面反射镜出射光垂直入射倾斜反射镜；采用一对平行平面镜保证了入射光线和出射光线平行，平面镜组的旋转保证了系统自稳定性和减少了探测时间，系统结构简单，降低了加工装调难度和生产成本的。
申请人：中国科学院光电研究院
地址：100080 北京市海淀区中关村东路95号
国籍：CN
代理机构：北京凯特来知识产权代理有限公司
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